A kjølerer en kjølevannsanordning som kan gi konstant trykk, konstant temperatur og konstant strømning. Det er ved å injisere en passende mengde vann i vanntanken, kjøle vannet gjennom kjølesystemet, og bruke en pumpe for å transportere kjølevannet til utstyret som skal kjøles. Kjølevannet tar bort varmen i utstyret for å oppnå kjøleeffekten. Kjølevann tilsettes mellomfrekvensutstyr hovedsakelig på grunn av høy frekvens og stor strøm. Når magnetronsputteringsmålet brukes, vil det generere høy temperatur og deformere pistolen, så det kreves en vannkappe for å avkjøle pistolen. Magnetronsputtering kan sies å være en av de mest fremragende prestasjonene innen beleggteknologi. Fordelene er god film-substrat-bindingskraft, høy sputterhastighet, lav substrattemperaturøkning og god enhetsstabilitet. Kjøleren har et uavhengig vannsirkulasjonssystem og et uavhengig kjølesystem, som ikke påvirkes av det ytre miljøet. Sammen gir disse funksjonene pålitelig temperaturkontroll og belegningsresultater av høy kvalitet for vakuumionbeleggingsprosessen.
Funksjonen og egenskapene til kjøleren i vakuumionbeleggmaskinen inkluderer:
1. Avkjøling av målet: Målet i vakuumionbelegningsmaskinen brukes til å generere metallioner, men det vil generere mye varme under belegningsprosessen. Kjøleren kjøler raskt målet gjennom det sirkulerende kjølesystemet for å opprettholde normal driftstemperatur til målet, forhindre at utstyret overopphetes for å forårsake feil eller redusere kvaliteten på belegget, og sikre stabil produksjon av ioner.
2. Stabilitetskontroll: Denkjølerkan stabilt kontrollere temperaturen på utstyret for å sikre at utstyret fungerer stabilt innenfor det normale driftstemperaturområdet. Dette bidrar til å opprettholde konsistensen og stabiliteten til belegget, og forbedrer beleggets konsistens og pålitelighet.
3. Høypresisjonsjustering: Driftsparametrene til kjøleren kan justeres i henhold til spesifikke krav, inkludert kjølevannstemperatur, strømning og trykk. Dette gjør at kjøleren kan gi nøyaktig temperaturkontroll i henhold til ulike beleggskrav, noe som sikrer stabilitet og høy kvalitet på belegningsprosessen.
3.Energisparing: Den høyeffektive kjølekapasiteten og den nøyaktige kontrollfunksjonen til kjøleren bidrar til å redusere energiforbruket. Ved å effektivt kontrollere temperaturen på utstyret kan ytterligere energisløsing reduseres og energiutnyttelseseffektiviteten forbedres.
5. Ytelse for miljøvern: bruk av kjøler i vakuum-ionbeleggmaskin kan redusere den negative påvirkningen på miljøet. Den bruker sirkulerende vann til kjøling, reduserer vannforbruket og gir lavere støy og vibrasjoner under drift.
6. Miljøkontroll: Påføringen av kjøleren i vakuumionbeleggmaskinen kan også kontrollere omgivelsestemperaturen og fuktigheten for å gi et godt arbeidsmiljø. Riktig omgivelsestemperatur og fuktighet kan øke graden av vakuum, redusere virkningen av urenheter og gasser og forbedre kvaliteten på belegget.
Oppsummert, anvendelsen avkjølerein vacuum ion beleggmaskiner dekker mange aspekter som kjølemål, kjølesubstrater, kjøleutstyr og miljøkontroll, sikrer temperaturkontroll av utstyr og arbeidsstykker under belegningsprosessen, forbedrer beleggkvalitet og produktivitet.